627B-15789 627B15789 MKS Druckmessgerät

627B-15789 627B15789 MKS Druckmessgerät

Produkt-Details

Eigenschaften

Sensor-Betriebstemperatur von 150°C u. von 160°C

Gesamt--Inconel Kapazitanz-Sensor

Hohe 45 psia-Überdruckbewertung für verbesserte Stabilität und Wiederholbarkeit

Kompaktbauweise passt kleine Räume

Intern-angebrachte Festkörperprozessrelais zur externen Steuerung

Langfristige Leistung in Nitrid CVD u. in der Metallätzung

Spezifikationen

Art: Druckmessgerät

Sensor-Art: Kapazitanz-Manometer

Maß-Art: Absolut

Komplette Druck-Strecken: 1, 2, 3, 5, 10, 20, 100, 1000 Torr

Komplette Strecke: 0,01% von komplettem

Sensor-Temperatur: Gesteuert zu 150°C oder zu 160°C

Genauigkeit: 0,25% von Lesung

Übertragungsprotokoll: EtherCAT®

Analogergebnis: 0 bis 10 VDC in Last des Ohms >10

Analoges Verbindungsstück: 15 Stift D-subminiture

Auslöserelais: Zwei innerlich angebrachte Prozessdruckauslöserelais unabhängig justierbar von 0,5% bis 100% der kompletten Strecke

Nulltemperatur-Koeffizient: Versionen 150°C: 0,004% Versionen 160°C FS/°C (0,008% komplettes/°C für 1 Torr Strecke): 0,008% FS/°C (0,016% komplettes/°C für 1 Torr Strecke)

Spannen-Temperatur-Koeffizient: 0,02% Reading/°C

Antwortzeit: 50 Millisekunde

Anheizzeit: 4 Stunden

Internes Volumen: 6,3 cm

Umgebungstemperatur: 15° zu 50°C

Überdruck-Grenze: 45 psia

Leistungsbedarf: +24 VDC oder ±15 VDC, 1 Ampere an beginnen oben

Über MKS

Unsere Technologie ermöglicht den Instrumentpartnern der Zukunft-MKS mit Kunden in der Umweltüberwachung, die Verteidigung u. die Sicherheit, die Biowissenschaften u. die Forschung, die Prozess- u. industrielle Herstellung und die Dünnfilmindustrien, bahnbrechende Lösungen zu ihren stärksten Technologieherausforderungen zu entwickeln.

Unsere Arbeit ermöglicht unseren Kunden, zu sein erfolgreicher, und unseren Gesellschaften sicherer und produktiver zu sein.

MKS Instruments, Inc ist der weltweite Führer in den Technologielösungen für die Märkte, die wir dienen. Wir machen die Instrumente, die Subsysteme und die prozesskontrollierten Lösungen, die unseren Kunden ermöglichen, die kritischen Parameter der modernen Prozesse zu messen, zu steuern, anzutreiben, zu überwachen und zu analysieren, die sie handhaben.

Die Wahrscheinlichkeit ist dass Sie zu besitzen groß oder zu haben verbraucht ein Produkt, das durch unsere Technologie ermöglicht worden ist.

Unsere Leute sind die Weltklasse- Problemlöser und funktionieren an der Vorderkante der Wissenschaft, der Technik und der Technologie. Wir haben eine stolze Geschichte der Industrie-ändernden Innovation und wir unterstützen sie mit einer globalen Stützinfrastruktur, die sicherstellt, dass wir dort für Sie während des Lebenszyklus unserer Lösungen sind.

Mehr Produkte

Treten Sie mit uns in Verbindung

miya@mvme.cn (Klicken)

E-Mail: miya@mvme.cn

QQ: 2851195450

Telefon: 86-18020776792

Skype: miyazheng52