64-21140C 03-21140-06/F 02-33632-06/C ASM-Brett plc-Modul
Marke/Hersteller | ASM/Netherlands |
Teilnummer |
64-21140C 03-21140-06/F 02-33632-06/C |
Abwechselnde Teilnummer |
64-21140C 03-21140-06/F 02-33632-06/C |
Beschreibung | Asm-Brett |
Dimennsions | 18.8cm x 12.1cm x 4.6cm |
Gewicht | 0.26kg |
Produkt-Details
Quellenmaterial schließt SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 und BBr3 mit ein. Anderer Dotierungsstoff kann
seien Sie auch kontrolliert, vorausgesetzt, dass sie mit ausreichender Konzentration für genaues verdunsten
ratiodetection. Trägergase umfassen H2, ihn, N2, O2 und AR.
Drei Ertrag werden zur Verfügung gestellt: Quelle (0 zu +5VDC); Fördermaschine (0 zu +5VDC); Verhältnis (0 zu +5VDC).
Diese Ertrag können mit jedem möglichem 5 Volt DC-Voltmeter mit einer Empfindlichkeit von 1000 überwacht werden
Ohm/Volt oder mehr. Ein eingebautes Ventil unterscheidet sich den Fördermaschinenmassenstrom, um die Quelle zu steuern
Gramm/Min. vorgewählt durch eine externe Steuerspannung.
Ein einzelnes Päckchen enthält den Strömungsmesserabschnitt, Verhältnisdetektor, Regelventil und
Elektronik.
BEFEHL, der 0,1 bis 5 VDC EINSTELLT
AUSGANGSANZEIGE
1. QUELLE: 0.1-5 VDC linear proportional zum Massenstrom verdunsteter Flüssigkeit
2. FÖRDERMASCHINE: 0.1-5 VDC linear proportional zum Massenstrom Trägergas
3. VERHÄLTNIS: 0.1-5 VDC linear proportional zum Verhältnis des Dampfflusses (SCCM) zum Fördermaschinenfluß (SCCM) eingestuft mit 5 VDC = 50%
Merken Sie dass, wenn es keine sprudelnden (d.h. keine Steuerung) Ratio=0 gibt und Fördermaschine den Wert erreicht, der größer als 5vdc ist (gewöhnlich 5,6 Volt).
AUSGANGSIMPEDANZ: 10 Ohm maximal
KRÄUSELUNG: 50 Millivolt pp. maximal
Moore-Nachrichten
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